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-100℃超低溫冷阱應用于Parylene真空涂層設備
發布時間:2022-11-28點擊量:653

Parylene(中文稱:派瑞林、聚對二甲苯)是對二甲苯聚合物的商品名,是美國Union Carbide Co.公司在六十年代推出的一種氣相沉積高分子聚合物材料。

Parylene Coating派瑞林涂敷技術,采用獨特的真空氣相沉積工藝(CVD技術),由活性小分子在基材表面沉積出完全敷形的聚合物薄膜涂層(通常稱為保形涂敷、共形涂敷、Conformal Coating),它能涂敷到各種形狀的表面,包括尖銳的棱邊、裂縫里和內表面,號稱“無孔不入”。這種室溫沉積制備的0.1-100微米薄膜涂層,厚度均勻、致密無針孔、透明無應力、不含助劑、不損傷工件、有優異的電絕緣性和防護性,也有很好的物理機械性能,是一種堅韌、自潤滑性和良好的均勻性的高分子涂敷材料, 甚至被業內稱為當今世界頂級的防潮、防霉、防腐、防鹽霧的特殊防護涂敷。

Parylene涂敷技術,可廣泛應用在航天、航空、軍工、電子、生物醫療、控制系統、文物保護、納米材料和磁性材料等諸多領域。也包括很多新的用途,特別是傳統的材料不能滿足特定要求的一些場合,它的應用能解決一些傳統材料所不能解決的技術問題。

  -100℃超低溫冷阱應用于Parylene真空涂層設備.jpg

目前,制備Parylene薄膜的氣相沉積設備,通常分為四個部分,分別為蒸發室,高溫裂解室,高分子沉積聚合室,真空冷阱室。它們是一個連續的過程,四個腔室相互連通、相輔相成,通過與真空冷阱室連接的真空泵調節各個腔室的真空度,在各個腔室之間之問形成壓差,使parylene單體氣體流動。最后由冷阱來完成剩余的parylene單體的收集和泵的保護。

在Parylene(派瑞林)真空涂覆工藝中,超低溫冷阱是必不可少的配套設備,一般選用-100℃或-120℃冷阱,可分為鍋式冷阱和棒式冷阱。冷阱的尺寸、安裝方式可以根據用戶需要單獨定制,以達到最優的捕集效率。在Parylene涂敷領域,長流儀器具備豐富的配套經驗和解決方案,提供專業的定制服務,使每一臺定制產品,都達到標準產品完全相同的質量水平。

  超低溫冷阱.jpg  

長流儀器長期深耕于超低溫制冷技術,自主研發和生產VaporCold系列超低溫冷凍機(冷阱),完美替代PolyCold低溫設備,配套應用于Parylene真空涂敷設備,長期為國內外Parylene(派瑞林)真空設備廠商配套提供-100℃、-120℃、-135℃超低溫冷阱。

近二十年來,VaporCold系列-100℃真空涂敷冷阱、-120℃超低溫冷凍機、-135℃水汽捕集器、-150℃系列超低溫冰箱和金屬深冷處理箱、-120℃至-170℃超低溫熱沉試驗機組,多次中標中國科學院、中國火箭研究院、中國工程物理研究院核心項目,為航天軍工、生物制藥、醫療衛生、真空鍍膜、光電子、太陽能、遠洋漁業、高校科研、金屬加工、環境監測等項目提供-100℃至-170℃的超低溫設備。

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